





μm级运动精度,重复定位稳定
微型化结构设计,适用于高密度精密机构
支持直线导向及旋转支撑复合应用
高刚性、低摩擦、低运行阻力
适配洁净室及高精度检测环境
高精度滚珠循环系统
滚道精密加工,运动平稳,适合高频往复与微位移控制
材质可选 SUJ2 / SUS440C
SUJ2:高硬度、高耐磨,适合高负载精密运动
SUS440C:耐腐蚀、适合洁净与半导体工艺环境
微型尺寸,安装灵活
适用于空间受限的精密模组及检测机构
低振动、低噪音运行
有效提升设备检测稳定性与测量一致性
应用领域
半导体检测 / 分选 / 封装设备
3C 产品检测机构
位移传感器、精密测量及微型自动化模组
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